Oprema za optičku i poluprovodničku preciznu inspekciju se u velikoj mjeri oslanja na stabilne optičke puteve, akviziciju slabog električnog signala i visoko{0}}preciznu povratnu informaciju o položaju rešetke. Unutar opreme je ugrađen veliki broj optičkih sočiva, CCD/CMOS senzora slike, komponenti laserske interferometrije i senzora osjetljivih na magnet. Ako su strukturne komponente magnetne, pojavit će se zalutala magnetna polja, koja će ometati akviziciju signala, uzrokovati izobličenje slike i pomake mjerenja, pa čak i utjecati na interpretaciju rezultata inspekcije mikro- strukture pločice. Obične metalne grede su uglavnom magnetne. Iako su neke legure demagnetizirane, one imaju tendenciju ponovnog generiranja rezidualnog magnetizma pod dugotrajnim-naizmjeničnim udarom kretanja i vibracija. UNPARALLELED Group razvija nemagnetne precizne granitne grede. Koristeći prednosti prirodnih nemagnetnih svojstava kamena, zajedno sa ekskluzivnom ultra-tehnologijom ultraprecizne obrade, ove zrake ispunjavaju dvostruke zahtjeve nemagnetizma i stabilnog kretanja za opremu za optičku i poluvodičku kontrolu.
1. Prirodni nemagnetni supstrat: Uklonite zalutale smetnje magnetnog polja iz izvora
Većina granita sadrži malo feromagnetnih minerala i neće se magnetizirati niti zadržati rezidualni magnetizam nakon posebnog probiranja nemagnetnih granita. Za razliku od metalnih komponenti, njegovo magnetno polje se neće pomicati s vibracijama ili promjenama temperature. U scenarijima kao što su inspekcija poluvodičkih pločica i optička interferometrija, magnetski osjetljive komponente su integrirane unutar opreme. Čak i slaba zalutala magnetna polja mogu uzrokovati devijaciju laserske putanje i skokove očitavanja rešetke, smanjujući ponovljivost mikronskih i sub{4}}mikronskih mjerenja. UNPARALLELED dodaje inspekciju magnetnog uzorkovanja kada sirovi kamen stigne u fabriku kako bi se eliminisali praznine pomiješane sa feromagnetnim mineralima, osiguravajući da cijeli snop ostane nemagnetičan. Gotovi proizvodi ne zahtijevaju dodatni tretman demagnetizacije i nemaju rizik da ponovo postanu magnetski pod udarom, pružajući čisto magnetno okruženje za optičke puteve i senzorske sisteme.
2. Multi-sinergijske performanse fizike: Stabilna referenca kretanja izvan-nemagnetizma
Ne-magnetizam je samo osnovni uslov. Oprema za optičku i poluprovodničku inspekciju takođe nameće stroge zahteve za termičku stabilnost, dinamičku krutost i suzbijanje vibracija greda. Sa niskim koeficijentom termičke ekspanzije, nemagnetne precizne granitne grede prolaze kroz minimalnu promjenu dimenzija uzrokovanu porastom temperature motora i optičkih komponenti tokom dugotrajnog kontinuiranog rada, efikasno sprječavajući termalni pomak referentne vrijednosti za montažu za vodilice i linearne skale. Visoko prigušenje materijala apsorbira vibracije nastale tokom-brzine reciprociranja slajdova i sprječava prijenos vibracija na optička sočiva i zamućenje slike. U fazi projektovanja, UNPARALLELED provodi dinamičku i termičku simulaciju kako bi optimizirao poprečni presjek snopa- prema rasponu kretanja, opterećenju klizanja i ubrzanju opreme za inspekciju. Balansira visoku krutost i vlastitu-težinu kako bi se smanjilo opterećenje linearnih motora i dinamički otklon uzrokovan inercijom kretanja. Ili monolitne ili precizno sastavljene strukture mogu se odabrati za malu-putnu visoko{12}}opticku inspekciju ili opremu za skeniranje pločica velikog{13} formata.
3. Čista precizna obrada i proces nemagnetnog ugrađivanja za sklop modula za inspekciju
Unutrašnji prostor optičkih i poluprovodničkih čistih komora zahteva visoku čistoću. U međuvremenu, grede moraju nositi mnoge optičke baze, linearne skale i nosače senzora. Konvencionalni metalni učvršćivači nose magnetne rizike. UNPARALLELED usvaja nemagnetne ugrađene navlake za nemagnetne granitne grede, uparene sa nemagnetnim zatvaračima i nisko-isparljivim specijalnim ljepilom-. Sve komponente sklopa ostaju ne-magnetne i neće uvoditi lokalna magnetna polja. Referentne površine greda se nano-preklapaju u radionici sa konstantnom{{11}temperaturnom vibracijom-izolovanom radi striktne kontrole pravosti, paralelnosti i ravnosti. Nakon strojne obrade, grede prolaze kroz čišćenje-bez prašine kako bi se uklonila prašina i ostatke od preklapanja i izbjegla kontaminacija česticama na pločicama i optičkim sočivima. Raspored rupa je optimiziran simulacijom naprezanja kako bi se spriječila koncentracija naprezanja uzrokovana gusto raspoređenim rupama i lokalnom deformacijom kamena tijekom zatezanja vijaka. Rubovi su pasivizirani radi smanjenja mrtvih uglova nakupljanja prašine, pogodni za ugradnju unutar čistih komora.
4. Adaptacija radnih uslova za višestruku optičku i poluprovodničku opremu za inspekciju
Nemagnetne precizne granitne grede su idealne za opremu za inspekciju opremljenu magnetno-osjetljivim senzorima, laserskim interferometrima i slikama visoke{2}}razlučivosti. Tipične aplikacije uključuju alate za inspekciju defekta površine pločice, optičke profilere, laserske konfokalne sisteme za skeniranje, inspekciju izgleda staklene podloge i preciznu metrologiju fotomaske. Osnovna potražnja takve opreme nije teško rezanje, već stabilno visoko{5}}skaniranje i snimanje slike. Nemagnetna karakteristika zraka štiti optičke puteve i senzore; visoka dimenzionalna stabilnost osigurava da mjerni podaci ne odstupaju tokom dugotrajnog-skeniranja; visoko prigušivanje potiskuje vibracije i garantuje jasnu sliku. U poređenju sa gredama od legure aluminijuma i livenog gvožđa, nemagnetne grede od granita nemaju rizik od magnetizacije. Njihova preciznost polako opada u dugotrajnoj-službi i smanjuje vrijeme zastoja za kalibraciju. UNPARALLELED podržava prilagođeni razvoj prema veličini komore kupca, rasporedu optičke putanje i interfejsima za montažu, rezervisanje utora za usmeravanje, rupe za izbegavanje i referencu za montažu za optičke komponente.
5. Kompletan-fabrički pregled kako bi se garantirao kvalitet isporuke
Osim konvencionalnih testova geometrijske preciznosti i krutosti opterećenja, gotovi proizvodi se provjeravaju na magnetizam kako bi se potvrdilo da je cijela zraka uključujući ugrađene dijelove nemagnetna. Geometrijska precizna inspekcija usvaja CNAS sljedivu mjeriteljsku opremu. Dostavljeni su kompletni dokumenti uključujući evidenciju o čistoći, izvještaje o ispitivanju materijala i podatke o deformaciji opterećenja. Ambalaža-bez prašine je usvojena kako bi se izbjegla kontaminacija tokom transporta. Za modele sa dugim{6}}hodom, nisko{7}}ljepilo se koristi za sastavljene grede, a spojevi se postavljaju u zonama niskog-naprezanja bez ometanja optičkih i mjernih referenci jezgra.
Zaključak
U opremi za optičku i poluvodičku preciznu inspekciju, zalutala magnetna polja direktno ometaju optičku sliku i mjerenje slabog signala, što se teško može u potpunosti izbjeći tradicionalnim metalnim zrakama. NEPREVREDNE nemagnetne precizne granitne grede prihvataju prirodno nemagnetne kamene podloge, u kombinaciji sa nemagnetnim ugrađivanjem, ultra-preciznim lepljenjem i čistom tehnologijom obrade. Oni istovremeno postižu nemagnetno okruženje, nisku termičku deformaciju, visoku krutost sa prigušenjem vibracija i dugoročnu -stabilnost dimenzija. Savršeno pogodni za opremu za kontrolu pločica i optičku metrologiju, ovi snopovi pružaju čist i stabilan nosač pokreta za optičke sisteme i magnetno{9}}osjetljive mjerne jedinice.